能源管理 製造業

全球第三大專業晶圓材料供應商多方落實節能目標,形塑永續環境的美好力量

發布日期: 2024.05.06

現況分析

半導體產業是台灣重要的經濟引擎,也被視為國家的「護國神山」。然而隨著科技進步,半導體製造越來越趨向精密化,對能源的需求也日益增長。作為台灣最大、全球第三大的矽晶圓廠,深刻了解到降低能源消耗並積極應對永續環境議題,是在競爭激烈的市場環境中保持競爭力的關鍵,因此多年來不僅不斷強化技術研發能量,也在經濟部產發署計畫本會輔導下,導入ISO 50001能源管理系統,藉由全面審視製程與設備的能源使用狀況,以更具系統性的方法達到成本降低與能源永續的目標。

◆ 改善情形

半導體生產鏈涵蓋了上游的IC設計、中游的IC晶圓製造和下游的IC封裝測試和模組等環節,而該科技廠主要職責是中游的晶圓製造,其中包括長晶、切割、拋光和磊晶等過程,每個步驟都要用電力來加熱和冷卻,電費占據了較高的製造成本。 為了找到突破口,於2015年主動尋求能源服務顧問公司的協助,藉由系統化的能源改善方案,例如在大型工業馬達上加裝變頻器、將廠內公共區域的燈具更換為LED設備等措施取得了顯著的效果。 經過此次深入的研究和評估,該廠又於2017年主動接洽了經濟部產發署的能源管理輔導計畫,並展開了ISO 50001能源管理系統的建置。與過去的能源管理策略不同,這次的輔導計畫不僅讓他們全面檢視了整個廠區和製程設備的能源使用情況,輔導團隊也親自指導他們了解ISO 50001的稽核方式和程序標準,更協助他們建立了能源耗用參考基線,為未來推動節能改善計畫提供更全面的參考依據,從而克服了過去碎片式節能措施的困難。

◆ 改善成果

在ISO 50001能源管理的支持下,對廠區設備進行全面的升級,包括將苗栗廠的2台75hp定頻空壓機更換為1台150的變頻空壓機,以降低每年超過580,000度的電力消耗,同時減少每年280噸的二氧化碳排放。另外,也在空調冰機設備上安裝變頻器,實現每年超過700,000度的節電效益,同時減少340噸的碳排放。同時還推動內部電力資源管理方案,結合節能照明設備更換和實行辦公室中午休息時間停用照明1小時的計畫,從而降低每年46,445度電的用電量和23噸的二氧化碳排放。 此外,更從晶圓製造過程中能耗最大的部分著手,導入長晶爐節能熱場的設計,並搭配半永磁空壓機與高溫冰機設備,大幅減少了能源消耗。這項措施使得用電量減少4%-5%,為晶圓製造產業樹立了明確的節能標竿。